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隨著工業生產的發展,武漢實驗室凈化系統的需求越來越大。除了需要滿足實驗室的溫濕度要求外,室內的顆粒含量、空氣流量和壓力也需要控制在一定數值內。
1.溫度控制:具體方案為:在實驗室凈化回風通道處應該安裝冷水盤管,在實驗室凈化下層的格構梁上安裝溫度傳感器,在對應區域回風通道冷水盤管的中溫冷凍水管道上安裝電動調節閥。每個區域的溫度都由這個電動調節閥閉環來進行調節,通過控制盤管中溫水的流量來控制相應區域的溫度。這個PID加上適當的微分以克服溫度傳感器的滯后。
2.濕度控制:溫控穩定后,濕度過高容易變成水珠,過低會產生靜電,導致液晶面板的良率。但在如此大的潔凈車間內直接進行加濕和除石是不現實的,因此非潔凈區的新風機組采用新風置換控制。
3.電氣及儀表設計、溫濕度傳感器:每個分實驗室的凈化面積約為30,000 m2,平均每500m2安裝一個集成式溫濕度傳感器,可以直接監控到實驗室的溫度傳感器:安裝在實驗室下層夾層的格構梁上,PID設定值為23℃,可以保證直接吹下通過生產區的氣流溫度穩定在23℃。